二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9244726 待售

"LAM RESEARCH TCP 9600 SE"是专门为半导体晶圆蚀刻应用而设计的蚀刻器式设备。该系统旨在提供最佳工艺参数和一致性,确保结果一致。它以最高的准确性、可重复性和工艺可靠性为当今先进结构化设备的蚀刻提供了生产中最高的吞吐量。LAM RESEARCH TCP 9600SE是一种盒式加载、功能齐全的设备,它提供自动晶片加载、晶片映射和带有统计过程控制机的晶片识别。这使用户能够完全控制蚀刻过程,从配方选择到实际处理。泵是一种旋转式叶片泵，为工具提供可靠一致的运行压力。蚀刻器使用高功率微波发生器加热加工气体，包括氯化合物，使气体电离，并电溅射要蚀刻出晶片的材料。气体清洗资产从工艺废水中消除亚微粒和杂质，以保护实验室环境。模型具有冷却孔,可将晶片冷却至所需温度,以完成蚀刻过程。TCP 9600 SE还包括高级控制系统。其中包括石英窗温度控制设备、自动阀门控制系统和基板温度控制单元。石英窗温控机确保工艺室内氧气分压一致，促进了均匀蚀刻速率。自动阀门控制工具确保过程气体的安全和一致的关闭。基板温度控制资产防止不稳定薄片或化学物质在晶片上形成。蚀刻机中还包括先进的防过度填充模型。该设备可防止化学储层过填充，确保安全和一致的蚀刻过程。TCP 9600SE专为与各种晶片兼容而设计,包括绝缘体硅（SOI）、单层和双层。该系统设计用于洁净室环境，包括耐化学物质隔离罩，并符合NFPA 495、NFPA 497、EC指令94/9/19和ISO 9001/14001等多项安全标准。LAM RESEARCH TCP 9600 SE蚀刻器式单元是一种先进的蚀刻机，具有最佳的蚀刻工艺参数、可重复性和可靠性。此工具确保了一致和安全的蚀刻过程,可用于各种半导体材料和清洁室设置。