二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9268139 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是针对多种基材的先进蚀刻解决方桉，包括半导体和石英材料，以及其他特殊材料。LAM RESEARCH TCP 9600SE由最先进的Windows操作设备提供支持,能够快速轻松地连接到其他外围设备。反应性离子蚀刻（RIE）技术利用一束主动的全局离子束，将精确蚀刻的特征打造成多种底物。该系统的高级控件提供了氮化物蚀刻和光刻剥离功能,并具有广泛的可自定义参数以获得最佳效果。易于使用的控制界面允许对诸如蚀刻速度、温度、气流和腔室压力等参数进行简单的编程。蚀刻机有很大的设备足迹，允许整合到更大的生产线中，而它的夹具多功能性使它能够处理各种基板。9600 SE配备了先进的射频发生器，提供几乎所有所需表面几何形状的均匀蚀刻。发电机保持符合严格的RIE阻抗控制,以确保一致的蚀刻结果.它还具有等离子体清洁能力，允许去除有机残留物、表面氧化物层和金属氧化物层。这使设备能够将元件刻蚀到非常高的精度水平。TCP 9600 SE具有精密的真空室，提供超稳定且可重复的蚀刻性能。该腔室是为RIE定制设计的，具有先进的真空泵机和单晶菱形涂层在所有腔壁。这样可以确保最佳的蚀刻精度和可重复性。此外,9600 SE还配有电光抛光室壁,可延长使用寿命,获得最佳蚀刻质量。总体而言,TCP 9600SE是一种精密的蚀刻工具,旨在提供极致的精确度和可重复性,并减少用户的参与。其先进的RIE技术和集成的射频发生器，为各种元件和基板提供了高水平的蚀刻精度。其单晶金刚石般的涂层和电光抛光的墙壁确保了无与伦比的真空和可重复性性能，而其集成的Windows操作资产则确保了快速轻松的模型连接。