二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300195 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种工业级蚀刻器，经过优化，可用于半导体工业。它旨在以极高的精度和可重复性将复杂的结构快速蚀刻到各种基板中。该机器的标准版本采用了新一代工艺控制软件和硬件，为不同的蚀刻和灰化工艺提供了更好的均匀性和生产率，包括反应性离子蚀刻（RIE）、电化学蚀刻（ECE）和等离子体蚀刻（PE）。该机还包括惰性气体输送系统，确保蚀刻或灰分工艺的最佳均匀性和质量。LAM RESEARCH TCP 9600SE采用最优质的材料构建,在恶劣的制造过程中提供可靠的性能和延长的使用寿命。基板加热器（SH）的工艺室温度范围为25至400°C，允许各种蚀刻和灰分工艺。此外,TCP 9600 SE还包括X-Y-Z驱动器系统,最大水平速度为800毫米/秒,垂直速度为600毫米/秒,为所有金属和非金属提供快速、精确的蚀刻。TCP 9600SE可用于全场、直写蚀刻、平面集成电路（IC）等过程化学，如用于千兆位内存设备的。此外，对该机进行了优化，使其在离子植入和金刚石推动切割方面具有优异的性能，使其适用于要求苛刻的电子和光伏设备生产类型。蚀刻器和灰化器允许操作各种气体，包括O2、H2、He和CH4，以及高浓度的Ar、HCl、SiCl4和NH4HF2。LAM RESEARCH TCP 9600 SE还与过程监控设备完全集成，用于捕获实时气体和真空测量。随附的操作人员HMI（人机界面）具有多种语言支持，设计方便操作和故障排除。对话驱动菜单为用户提供设置和控制计算机所需的所有信息。LAM RESEARCH TCP 9600SE是为工业用途而设计的先进蚀刻和灰化器,能够提供卓越的蚀刻和灰分效果。凭借其坚固、易于使用的操作和先进的工艺控制，是要求苛刻的蚀刻和灰烬生产工艺的绝佳选择。