二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300197 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种为制造高精度微电子元件而设计的先进蚀刻/asher设备。该系统由最先进的组件和功能强大的软件构成,可促进可靠、可重复和准确的结果。它非常适合需要高精度和重复性的晶圆蚀刻应用。LAM RESEARCH TCP 9600SE是高度模块化的,可以根据特定需求进行配置。该单元的所有组件都是可定制的，包括等离子体腔室大小和类型、电镀选项、真空系统和加热元件。这使得它能够适应广泛的蚀刻过程。该机基于模块化、多检流计的光学设计，可实现更高的吞吐量、准确性和可重复性。该工具还配备了多种RF和DC电源、多个源腔以及其他能够实现优化蚀刻速率和均匀性的组件。它还包括一个独特的等离子体注入技术，以实现最大的蚀刻性能，以及广泛的过程控制选项，以帮助实现可靠和一致的结果。该资产还具有两级安全互锁模型、脉冲光谱蚀刻（PSE）、过程控制站、基于软件的控制设备以及高速数据采集和分析子系统。这些组件使TCP 9600 SE能够精确蚀刻低至1/20微米的特性。总体而言,TCP 9600SE是一个通用的高级蚀刻器/asher系统,旨在提供可靠、准确和可重复的结果。其模块化设计使其具有高度可定制性，其高级组件使其能够实现精确的结果和过程控制。此外,它的安全联锁单元和其他组件有助于确保在任何时候安全运行。这使得LAM RESEARCH TCP 9600 SE能够适合于广泛的蚀刻应用，从研发到大规模生产。