二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9410049 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一款先进的蚀刻器/asher,旨在在处理各种应用程序的同时提供精确度和准确性。它具有变温控制设备、可变气流AI2O3和O2压力等先进功能，以及先进的工艺控制软件。它是一个完全自动化的蚀刻器/asher,带有内置的过程监视器,可实现一致且可重复的结果。该系统能够处理尺寸从0.25"到4"的晶片，并有一个4晶片卡带加载单元。它在1-100 Torr的压力范围内运行，温度范围为20-950°C。对压力和温度进行原子监控，可以将机器设置为手动模式或可编程模式运行。它是一种高效高效的设备,可提供高效、可靠和低拥有成本的性能。利用这种蚀刻器/灰化器，可以实现蚀刻轮廓的高均匀性和高密度蚀刻等高质量特征。所有部件均设计为耐腐蚀和低维护。该工具具有闭环、自再生气体资产，可用于减少有毒气体的使用，符合最高安全标准。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9600SE是一种最先进的蚀刻器/蚀刻器,具有广泛的功能和功能。生产优质产品效率高、效果好，是研发、生产工艺的绝佳选择。它可以提供一致、可重复的结果,并且可以处理任何晶圆大小。此外，它还采用了闭环自再生气体模型，可用于减少有毒气体的使用，并符合最高安全标准。