二手 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9410050 待售

LAM RESEARCH TCP 9600 SE是一种灵活、经济高效的蚀刻（或asher）设备,专为满足设备级工艺技术要求而设计。该系统适用于广泛的工艺参数，包括孔、沟、喷嘴、嵌入沟、高长宽比和电介质。凭借其先进的控制包,该设备提供了卓越的控制、速度和准确性,同时最大限度地减少了污染,并消除了对昂贵的基于过程的配方的需求。LAM RESEARCH TCP 9600SE使用直流等离子体源,可以实现高水平的蚀刻选择性和均匀性,以及高蚀刻速率。此蚀刻器能够处理小的几何形状和特征,包括2D和3D特征,如孔和沟槽,具有出色的产量和可重复性。此外,集成的X-Y运动机器允许精确分析和调整特征。可以调整高精度运动控制工具，以确保特征形状和尺寸的均匀性。蚀刻器还具有先进的技术特点，如集成晶片清洗洗涤、先进的压力和流量控制，以及独立的热区控制。其专有的先进ChamberView技术进一步提高了其工艺精确度和准确性，使关键的现场工艺监测能力成为可能。此外,集成的高级工艺调整模式（PTM）提供了卓越的精度和工艺控制.TCP 9600 SE适用于一系列流程,包括前端线路（FEOL）和后端线路（BEOL）流程。它可以处理复杂的结构,蚀刻窗口的范围从0.3 μ m到150 μ m不等,具体取决于材料的类型和工艺要求。此外，蚀刻器有一个内置的电沉积和蒸发过程，以允许金属和介电层沉积相同的过程。总之,TCP 9600SE蚀刻器是一种经济高效且可靠的资产,可以满足最苛刻的设备级工艺技术要求。该模型提供了出色的蚀刻选择性、均匀性和准确性,以及提供卓越的过程控制和过程监控功能的先进技术。