二手 OXFORD Plasmalab 100 #293591996 待售

OXFORD Plasmalab 100
ID: 293591996
ICP-RIE System LGIT Does not include dry pump.
OXFORD Plasmalab 100 蚀刻器/asher是一种精密的精密仪器,设计用于广泛的蚀刻和灰化工艺。由于其先进的控制和工艺参数,它的开发是为了提供最高水平的性能和准确性。Plasmalab 100是一种全封闭的腔室设备,带有真空负载锁。这种负载锁提高了热稳定性,同时有助于降低颗粒污染的风险。它还确保为进行蚀刻和灰化过程保持所需的最小压力。该系统允许基材和部件快速转移到处理室中,使得该单元特别适合高通量应用。OXFORD Plasmalab 100提供了一系列的基材保暖控制技术,以确保准确和一致的基材温度。因此,它可以提供更高的温度稳定性,当蚀刻和灰化更具挑战性的材料.此外,该单元还具有线性网格扫描仪,能够对组件进行精确和计量优化的蚀刻。Plasmalab 100还提供可选遥控器选项。此功能允许用户远程访问其数据和流程,并提供更详细的现场支持。基于Microsoft Windows的集成软件应用程序进一步启用了现场支持,可轻松控制和数据管理。蚀刻和灰化机由一系列可选配件和消耗品进一步支持。这包括用于腔室和负载锁的专用清洁解决方桉,确保最佳工作环境和工具寿命。此外,还可以使用一系列样品处理工具包,用于使用氮气、氙气和氦气束源等应用。总体而言,OXFORD Plasmalab 100 蚀刻器/asher的设计满足了要求很高的蚀刻和灰化工艺的需要。它的一系列高级功能提供了卓越的控制和准确性,使其成为需要精确结果的应用程序的理想工具。
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