二手 OXFORD Plasmalab 100 #293592017 待售

OXFORD Plasmalab 100
ID: 293592017
PECVD System LGIT Does not include dry pump.
OXFORD Plasmalab 100是一种等离子体蚀刻和灰化工具,设计用于清洁和蚀刻各种材料。它是生物、微电子和半导体研发项目的高端、具有成本效益的解决方桉。高强度直流等离子体蚀刻和灰化工具使用加热,驱动火炬放电化学蚀刻和清洁材料。Plasmalab 100,一种高容量的设备,合金任何气体组合,使其高度通用,适合加工易碎敏感的底物,如钯和薄膜底物。系统配备了高级触摸屏显示屏,允许用户调整设置以获得所需的蚀刻结果。OXFORD Plasmalab 100提供了极好的可重复性,最大限度地减少了实现所需表面光洁度所需的后处理量。它还可以用于更复杂的等离子体蚀刻任务,如纳米翅目的蚀刻、深蚀刻和浅沟。Plasmalab 100单元还具有精密剂量机,允许精细到粗糙的材料进行加工。这是由多用途且用户友好的触摸屏面板备份的,该面板允许用户快速调整流程参数。OXFORD Plasmalab 100附有完整的用户手册和培训视频,帮助用户熟悉其设置和功能。Plasmalab 100专为加工各种材料而设计,包括但不限于:(a)较硬的基材材料,如硅、陶瓷、金属、氮化物和耐火金属;b)塑料、玻璃和较软金属等耐加工材料较少;(c) TO-5、平板显示器等薄膜材料,以及在室内具有先进工艺控制的印刷电路板。总体而言,OXFORD Plasmalab 100是一种易于使用、经济高效、精确、高容量的等离子体蚀刻和灰化工具,易于使用且高度可靠。适用于任何需要精确可靠的等离子体蚀刻工艺的应用,留下干净、精确的光洁度。
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