二手 OXFORD Plasmalab 100 #293640840 待售

OXFORD Plasmalab 100是一种最先进的蚀刻器/asher，用于多种微加工应用。它是一种可以蚀刻和沉积正负光致抗蚀剂的单室工具。Plasmalab 100能够在广泛的应用中进行湿式和干式蚀刻，并且具有高度精确和稳定的蚀刻环境。该工具以质量流蚀刻技术为基础，其特点是材料去除率高而损坏低。它在广泛的材料中提供了均匀的蚀刻，包括硅、氮化氙、SiGe和GaN化合物。OXFORD Plasmalab 100配备了无碰撞磁流体动力学（MHD）技术，使其产生近零漂移无振动蚀刻环境。无论环境如何,这都会导致均匀、高质量的蚀刻。在工艺变量方面，Plasmalab 100具有可调等离子体扳机、气体注入、气体旋转流速等特点，实现了所需的蚀刻配方。此外，它有一个可编程的等离子体压力控制器，允许一个易于适应的蚀刻过程。凭借其人性化的图形用户界面，OXFORD Plasmalab 100可以精确控制蚀刻压力、直流偏压、离子能量、比例和导数时间以及蚀刻速率。Plasmalab 100能够以高精度和重复性将光致抗蚀剂沉积到基板表面。其多电极等离子体源可实现广泛的蚀刻速率，并具有高达1.0 x 10-3 Torr的可变腔室压力。Ashing process have a automatic temper features, which actured sense the ashing temperature and maintaining it without fOXFORD Plasmalab 100采用多弹跳磁场配置，用于生产用于先进薄膜图案的抗蚀性条纹。Plasmalab 100经CE认证，符合EN 13485的要求，符合ISO 13485和QSR（GMP）标准。它还满足RoHS、EMC和CE的要求。OXFORD Plasmalab 100具有先进的蚀刻和沉积能力以及安全性和环境合规性，是许多先进的微加工应用的理想选择。