二手 OXFORD Plasmalab 100 #293641059 待售

OXFORD Plasmalab 100是一款高度工程化、精密的蚀刻器和asher。这种多合一设备是为大学和研究设施设计的，需要半导体和微电子应用的快速周转。该设备将等离子体源与6英寸集成在一起。蚀刻和粉碎室。该腔室的设计既能进行蚀刻操作，又能进行需要高度控制的灰化操作，以达到所需的表面质量。该装置利用低压感应耦合等离子体（ICP）源。这种等离子体源能够为快速周转提供极其清洁和均匀的等离子体环境。其电感耦合等离子体放电在产量和精度方面均表现出色。真空室采用T形布局，提供了广泛的蚀刻和ashing选项。垂直T组件在蚀刻和灰化过程中提供高度控制。使用者可以调整等离子体放电的角度和速度，以及气压全氟碳（C4F8），以达到所需的表面光洁度。整个系统的构建非常注重细节,以获得卓越的性能。单元的每一个部件都由超高纯度材料构成。该腔室易于装卸，带有气动驱动门，并通过集成的图形用户界面提供用户友好的控制。Plasmalab 100蚀刻器和asher提供了可重复性和可靠性。其先进的热管理机保证了统一、一致的条件，而内部管理的安全工具则以可靠、全面的安全措施保证了操作员的安全。最后，OXFORD Plasmalab 100为任何应用提供了可靠高效的蚀刻和灰化解决方桉。操作简单，精度高，可重复性强，性能优越。