二手 OXFORD Plasmalab 100 #293649326 待售

OXFORD Plasmalab 100是来自OXFORD Instruments的蚀刻和灰化设备。它是一个紧凑的、多合一的系统，非常适合用于半导体分析的样品制备。它提供卓越的性能、灵活性和缩短的处理时间。Plasmalab 100具有简单、用户友好的控制界面,具有两个独立的处理室,可同时进行蚀刻和灰化,非常适合顺序处理。可从前面板或远程软件轻松调整各种参数,如蚀刻和灰化压力、温度和气流。该装置能够产生极高的蚀刻速率和最少的残留量。双腔并行工艺允许对多个样品进行高效处理。机器的活动温度范围为-40 °C至350 °C，可以处理有机和无机材料。OXFORD Plasmalab 100还配备了内置的离子计和涡轮泵为基础的真空工具，使长期的高真空运行成为可能。此外，该资产还配备了一系列配件，并具备多种安全功能，如过温、过压防护，以及低气流预警模式。内置的数据记录和归档软件确保了可追踪性,并为进一步分析提供了宝贵的数据。Plasmalab 100是在半导体分析中多种应用的理想工具，如样品制备、MEMS器件、沉积蚀刻、表面清洁、器件氧化物蚀刻等。该设备为各种样品分析提供了一个极好的工具，结果非常可靠。