二手 OXFORD Plasmalab 100 #293651867 待售

OXFORD Plasmalab 100是一款先进的下一代蚀刻器/asher，专为处理硬质和软质材料而设计。这种单室设备既能用等离子体蚀刻，又能用氧基反应物气体灰化。这款Plasmalab 100配备了直流型低压等离子体源，以及高功率远程等离子体源，两者都能处理各种操作气体。OXFORD Plasmalab 100还可以用于各类材料的非常精确的等离子体蚀刻，包括聚合物、金属和半导体材料，使得几乎任何蚀刻应用都能实现。Plasmalab 100具有许多优点，包括独特的集成电卡盘，确保整个基板表面的蚀刻速率均匀，以及进料系统，使大量或小块的树脂颗粒能够有效地装入腔室。而且，OXFORD Plasmalab 100具有直观的用户界面，同时支持多达四种蚀刻配方，允许大规模的制造操作。此外，Plasmalab 100还配备了双压力双气体装置，可结合各种等离子体化学材料，其特性尺寸小于10nm，实现了全行业的尖端制造工艺。机器出色的控制功能还可以确保产生可重复的结果。为了安全和环境保护，OXFORD Plasmalab 100提供了许多安全功能，包括自动安全阀、消防安全、气体关闭和短路保护系统。此外,Plasmalab 100为用户提供了多种监视和控制功能以及数据记录功能,所有这些功能使用户能够充分利用此蚀刻器/asher启用的复杂蚀刻和灰化过程。