二手 OXFORD Plasmalab 100 #293666727 待售

OXFORD Plasmalab 100（或简称P100）是一种先进的等离子体蚀刻器或asher，用于等离子体蚀刻和加工。它是一个全自动的，6轴机器人臂系统，使用计算机控制的等离子体处理从基板或晶片上蚀刻、剖面或去除材料。P100有一个真空室和位于大型机械臂组件中的消耗品。真空室的设计是为了最大程度地均匀性和最小停留时间的材料被加工。该腔室采用压力密封，以防止任何污染，并在等离子体加工过程中保持低程度的离子污染。这样可确保各种应用程序始终获得高质量的蚀刻结果。P100具有高分辨率CCD摄像头和高精度电容耦合等离子体（CCP）蚀刻功能,可减少交叉污染的发生并确保产品的最高质量。腔室可以加压或抽空，这取决于所使用的过程。机器人手臂组件采用高强度合金制成，并采用类似金刚石的涂层，以确保P100的长寿命和延长使用时间。P100由四个不同的组件组成：主控制器、远程控制台、显示器和光学阅读器。通过13英寸触摸屏液晶屏操作的主控制器允许用户输入进程参数和控制参数。远程控制台是一个单独的显示器,用于运行Etch Tables,以便快速轻松地控制流程。显示器使用户能够检查过程进度，而光学阅读器确保晶圆位置准确一致。这对于创造一致的结果至关重要。P100还具有多种安全功能，包括紧急停止按钮、腔室通风按钮和报警系统。这些特点是确保没有任何东西被过度处理，并且该过程的有害程度低。总体而言，Plasmalab 100是一种先进的机器人等离子体蚀刻器和asher系统，能够以合理的成本实现精确的结果。它为用户提供了可靠、安全和自动化的蚀刻工艺，并且能够以绝对的精确度定位晶片，使其在各种应用中用途极为广泛。