二手 OXFORD Plasmalab 100 #293743445 待售
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ID: 293743445
晶圆大小: 6"
System, 6"
(2) Process modules
Quartz clamp, 6"
PECVD Left chamber
ICP/RIE Right chamber with turbo
Endpoint detector laser
Square loadlock with rotating arm
PLC Controller
(3) Oil pumps
Chiller
PC
PECVD Gas pod: SiH4 (Silane), N2O and NH3 (Ammonia)
ICP/ RIE Gas pod: C4F8, O2 and He
Operating system: Windows 2000.
OXFORD Plasmalab 100是一个高度先进的蚀刻/asher理想的广泛的研究和工业应用。凭借其先进的技术，该设备为研发实验室提供了精确精确的蚀刻和灰化能力。此蚀刻器/灰化器具有强大的200瓦射频发生器,能够实现高蚀刻和灰分速率。它完全集成，易于使用的控制软件允许容易选择蚀刻和灰分参数。此外,系统还提供了一个大型直观的全彩色16英寸触摸屏显示屏,用户可以轻松控制和监控蚀刻和灰化过程的进度。Plasmalab 100还提供各种蚀刻和灰化选项。它支持多种基材，其坚固的平台使其成为更高功耗应用的理想之选。它也可以用来蚀刻有图桉的基板，包括晶圆、模具和陶瓷基板，并且可以产生一系列的特征大小和深度。这使得它适合多种工业、微电子、半导体和生物研究应用。该系统提供各种过程控制功能,以确保绝对可重复和可重现的结果。它提供手动和自动化的蚀刻和灰烬控制,可以精确控制蚀刻和灰烬速率。此外，它有一个独特的湍流电离等离子体（TIP）源，当过程参数改变时提供快速反应，导致整个单元腔室内的等离子体非常均匀。它还具有气体淋浴功能，有助于确保气体分布均匀，减少颗粒形成。OXFORD Plasmalab 100还具有双冷却压板，能够有效去除蚀刻和灰化过程中产生的热量。对于极高的蚀刻或灰分速率,它提供了快速冷却机,以及升级的冷却组件,可将冷却容量提高80%。其先进的安全功能包括安全外壳和紧急停止开关。它已获得CE认证,有两种不同型号-一种用于工业用途,另一种用于实验室用途。最后,它提供为期两年的保修,涵盖零件、人工和旅行费用。
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