二手 OXFORD Plasmalab 100 #293748565 待售

OXFORD Plasmalab 100是一款等离子体蚀刻器/asher，设计用于在广泛的应用中提供可控和可重复的蚀刻和灰化功能。该设备采用专利的"开槽衬里"设计，采用了一系列组件，以减轻污染并提供高速处理。设计用于研发和生产设置，Plasmalab 100配备了一个单一的基板支架，允许它处理多达七十五（75）个150毫米晶圆或145毫米晶圆。它还包括一个单一的8英寸RF线圈，使其能够蚀刻厚度高达500 um的基板。基板电源可提供高达1.2kW的功率,最大驻波比（SWR）为1.4,以便进行高效且可重复的处理。OXFORD Plasmalab 100还配备了Hi-Vision高分辨率平板显示器,分辨率为500万像素。这允许用户在蚀刻器/asher内显示晶圆/基板的实时、高清流图像。此外,系统中还集成了一个可编程逻辑控制器（PLC）,用于监视和控制压力、温度和射频功率设置等过程。Plasmalab 100还有几种安全和污染预防机制，以确保取得最佳效果。它配备了一个五级除尘器，以及一个自检单元，以防止任何残留的微粒进入维修检修门密封。机器还使用惰性气体和主动屏蔽防止任何导电颗粒进入腔室，从而防止等离子体破裂和设备损坏。在processChemistry方面，OXFORD Plasmalab 100能够处理多种化学物质，包括含氧、ArCl2、CHF3和SF6的SF6，仅举几例。它还具有一个独特的基于PC的软件,它允许快速制作新配方的原型和可重复的过程保真度。最后，该工具采用了室内电容和功率组合的选择，为多种工艺应用提供了无与伦比的灵活性和可扩展性。总体而言，Plasmalab 100是涉及等离子体蚀刻和灰化的应用的理想选择，因为它具有高性能、用户友好的控制和强大的污染预防机制。