二手 OXFORD Plasmalab 100 #293757023 待售
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OXFORD Plasmalab 100是一种电感耦合等离子体蚀刻设备,设计用于广泛应用的最佳控制和精度。该蚀刻系统利用功率、压力、气流等蚀刻参数的组合,达到最佳蚀刻效果。等离子体蚀刻装置配备了体积小、模块化的设计,能够处理大型基板配置。Plasmalab 100允许新参数的直接耦合,以及其组件如偏置、功率和压力的可升级性,以便用不断发展的蚀刻技术来保持电流。高通量的OXFORD Plasmalab 100由于其最先进的设计和特点,实现了最高精度的蚀刻。蚀刻机由火柴盒式电源模块、气流控制单元等高性能组件以及130厘米立方的等离子体腔室体积组成,可实现大而高效的基板蚀刻能力。此外,蚀刻工具还配备了灵活的气体输送配置,可以进行各种蚀刻和清洁实验。这种灵活性提供了高度的过程多功能性和控制性,使其成为许多研究和工业应用的理想蚀刻资产。Plasmalab 100还具有先进的用户界面,可轻松设置和操作。其直观的软件和用户友好的图形显示,使参数的快速和准确的调整与最低限度的训练。此外,蚀刻模型的交互式LED显示屏和LED颜色可提供有关过程参数的视觉反馈,使用户能够轻松识别和排除任何问题。简而言之,OXFORD Plasmalab 100是一款先进的蚀刻设备,凭借其通用的设计和先进的用户界面,能够实现高精度的蚀刻和清洗效果。它的模块化设计和可升级组件使其成为从研究实验室到生产设施等多种蚀刻和清洁应用的理想工具。
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