二手 OXFORD Plasmalab 100 #293766784 待售

OXFORD Plasmalab 100是一种先进的蚀刻器和asher设备,其设计目的是在精确度和可重复性至关重要的研究和工业应用中提供卓越的性能。它将集成的低维等离子体源与快速气流控制相结合，能够对大量材料进行精确蚀刻和灰化。全可编程自动化系统在工艺质量和周期时间方面具有显着优势。Plasmalab 100具有双射频等离子体源，允许灵活加工各种材料。蚀刻气体对射频波的出色吸收消除了对单独的高真空单元的需要，从而实现了无与伦比的蚀刻和灰化速率、低残留物的形成和最佳的剖面传递。综合湍流等离子体源为隔离不同层提供了良好的表面质量和改进的选择性。这两个电源均由可靠且经现场验证的交流/直流转换器供电,该转换器的控制精度不到0.1%。OXFORD Plasmalab 100由一个外壳、一个处理室、一个遥控单元和一个可选的样品存储搅拌机组成。该腔室由一个纤薄的不锈钢结构和一个耐温的石英玻璃窗制成，用于均匀的等离子体分布。两个源都被整合到腔室中，并且完全被密封，从而提供高稳定性和低粒子排放。腔室还配备了强大的排气机，泵送速率高，背景压力低。在功能方面,Plasmalab 100提供了卓越的灵活性和控制力。它具有无与伦比的能源和效率控制,具有广泛的电源设置和工艺参数。这使得可重复和准确的过程具有优化的结果。用户友好的软件和直观的图形界面具有广泛的参数范围，使用户能够为不同的材料创建和存储多个蚀刻和灰化配方。OXFORD Plasmalab 100先进的工艺控制工具和详细的记录保存提供了无与伦比的可追踪性。Plasmalab 100是一项创新的蚀刻和灰化资产,性能无与伦比。它提供了无与伦比的控制、可重复性和准确性,同时为用户提供了广泛的功能。这使得它成为需要精确和优化结果的研究实验室和工业应用的理想模型。