二手 OXFORD Plasmalab 100 #293798318 待售

OXFORD Plasmalab 100是为任何刚性材料的不可逆精密蚀刻和微观表面结构设计的蚀刻器/asher。该机器能够蚀刻和粉刷有机和无机材料，包括金属、合金、电介质、玻璃和陶瓷材料。Plasmalab 100的占地面积很小，但可以容纳直径不超过10.25英寸的大型晶片和基材。其灵活的设计允许了广泛的工艺参数，这意味着精密的微结构可以在极低、中等和高温和受控大气下进行。OXFORD Plasmalab 100配备精密质量流控制器（MFC），提供精确且可重复的气流，以及涡轮分子泵送系统，以精确控制系统中的压力。该机集成了一个锁载室，可方便快捷地装载和卸载基板。Plasmalab 100的集成等离子体源能够利用"浮动电极"技术生产射频和直流等离子体。这一技术使OXFORD Plasmalab 100能够产生极低的受控密度的等离子体，为微结构过程提供高精度和精确度。Plasmalab 100还可以提供深度蚀刻能力，使各种深度和形状的特征和结构能够可靠地产生并具有可重复的结果。机器也可用于表面修改，通过掺杂或沉积，以进一步提高材料的所需性能。为了确保每次运行都能取得最佳效果，OXFORD Plasmalab 100具有板载过程监控功能。通过使用先进的过程控制系统，可以对机器的操作进行实时监控和调整。这有助于保证高质量、可重复的过程和可靠的结果。为了完善Plasmalab 100的功能,该机器与各种前期和后期处理硬件完全兼容。光刻、X射线衍射（XRD）、二次离子质谱（SIMS）、表面力显微镜（SFM）、光学成像等技术都可用于监测和分析合成图样。总之，OXFORD Plasmalab 100是一款高精度的蚀刻器/asher，设计灵活，功能广泛。其集成的等离子体源和监测系统使其能够在低温下产生具有重复性的最高质量结果。此外，由于它与各种外部硬件的兼容性，可以同时监视和分析产生的模式。