二手 OXFORD Plasmalab 100 #293810520 待售

OXFORD Plasmalab 100是在研发应用中为金属、介电材料和半导体的精确等离子体蚀刻而设计的最先进的反应性离子蚀刻器（RIE）。易于使用的设备具有出色的蚀刻均匀性,并允许在系统中存储多个蚀刻配方,从而提供了最大的灵活性。Plasmalab 100配备蚀刻室，能够保持蚀刻均匀性的高度一致性。该腔室被封装在一个非常耐用的不锈钢外壳中，并配有各种连接器以连接各种输入和输出。蚀刻过程由射频发电机供电，由高压直流电源供电，反应性气体供应由一系列气体阀和流量调节器控制。要启动蚀刻过程,必须在控制器中编程合适的蚀刻配方。这一配方将决定用于预定应用的蚀刻工艺类型（如气体、流量、压力和功率的溷合）。控制器还允许同时存储多个预设蚀刻配方,以节省时间并确保结果一致。除了提供出色的蚀刻均匀性和可重复性外，OXFORD Plasmalab 100还具有许多其他功能，旨在确保用户安全。其中包括一个水冷排气装置以减少危险蒸气和温度传感器以确保机器不会过热。该工具还包括在压力下降或其他紧急情况下真空激活的关闭资产。Plasmalab 100是一种高效可靠的蚀刻器/asher，适合多种应用。OXFORD Plasmalab 100具有存储多种配方的灵活性和附加的安全功能,是任何希望进行高精度蚀刻的实验室的绝佳选择。