二手 OXFORD Plasmalab 100 #293824078 待售

OXFORD Plasmalab 100是一种蚀刻和蚀刻提升（ELO）设备,能够产生高质量、高精度的电容耦合等离子体（CCP）结果。该系统具有高分辨率的特点，具有优越的方面、轮廓精度和清晰度。Plasmalab 100经过优化，可用于氧化物蚀刻、氧化物升降光致抗蚀剂和氧化物反向蚀刻工艺。OXFORD Plasmalab 100具有极低流量（ELF）等离子体技术,它利用独特的小型气流单元,通过一致的过程时间和均匀性提供更清洁、更可靠的蚀刻。该机可通过电子方式调谐到各种操作参数，响应速度快、灵活。Plasmalab 100配备12英寸真空室，配有50kHz电源，提供可靠、高效的蚀刻工艺。OXFORD Plasmalab 100还提供自动频率调谐（AFT）功能,可根据材料去除量动态自动调整蚀刻室的频率设置。这允许用户实现更深的蚀刻、更平滑的墙壁和更好的尺寸。该工具还具有精确的XYZ阶段识别和直观的图形用户界面（GUI）。此GUI旨在提供一种简单快捷的方法来控制腔室参数和复制结果,即使在多层蚀刻作业的中间也是如此。该资产还配备了全面、全面的过程控制和诊断功能，包括先进的模拟能力、不维护的故障检测和腔室状态监控，以确保最佳的过程性能。此外,Plasmalab 100还提供光束散焦传感器、自动聚焦调谐、可编程光束强度以及先进的逐层配方构建功能。总体而言，OXFORD Plasmalab 100是一款高效、功能强大的蚀刻器，旨在为用户提供始终如一的高质量结果，具有无与伦比的精确度和统一性。该模型的高级特性使其成为原型和生产蚀刻应用的绝佳选择。