二手 OXFORD Plasmalab 100 #9097045 待售

OXFORD Plasmalab 100是一种蚀刻器/asher，设计用于在等离子体处理中提供增强和可重复的结果。此设备提供了一个通用的平台,使用户能够快速轻松地在蚀刻和灰化应用程序之间进行切换,同时同时适应串联和批处理配置。这种多用途的蚀刻器/asher设备采用OXFORD先进射频（RF）等离子体源技术，利用主射频发电机，可变功率输出高达100瓦，加上先进的腔室进行沉积、蚀刻和灰化控制。Plasmalab 100具有超快速配方系统,可快速优化工艺结果。该机加工钢室具有数字PID控制的均匀加热和冷却、惰性清洗以及多种工艺配方。该装置能够同时进行大气和低压蚀刻和灰化，确保室内始终保持最兼容和最佳的工艺条件。OXFORD Plasmalab 100上内置的安全防护系统全面全面，防止使用者意外损坏腔室或其他部件。该机包括过温保护、过流保护和安全联锁系统，以确保安全运行。集成的烟雾提取工具可以安全地清除任何汽化介质,使其不会进入工作区。Plasmalab 100还具有集成控制资产,使用户能够自动执行最常用的命令,如配方选择、泵控制和控制器选择。这种控制模式使用户只需单击鼠标即可快速轻松地对各种参数进行编程。此外，该设备还包括一个完整的图形用户界面，可对许多系统参数进行实时监控。OXFORD Plasmalab 100是一款经济实惠、用途广泛的蚀刻器/asher，旨在在等离子体处理应用中提供增强的可重复性。通过利用先进的射频源技术,此单元提供了一系列优于传统蚀刻方法的优势,例如更好的工艺一致性和更高的可重复性。此外,集成的安全保护提供了安全的工作环境,而内置的控制机器使操作员能够快速自动化流程。