二手 OXFORD Plasmalab 100 #9258339 待售

OXFORD Plasmalab 100是一款高精度的等离子体蚀刻器/asher，经过科学设计，达到最佳工艺性能。它能够对最具挑战性的基材和材料（如有机电介质、金属、氮化物和其他难以蚀刻的材料）进行快速、精确的蚀刻和粉刷。该工具利用精确的基板加热和高效的模块化主动可视沉积控制来制造元件。Plasmalab 100具有自动化的容器装载、端点检测和气体管理功能。自动装船可确保舱室内的基板放置在安全的环境中。端点检测能够监控气流、时间、压力和射频功率。气体管理系统控制成功蚀刻/灰化过程所需的工艺参数。该系统还有助于减少基板处理错误造成的停机时间。该系统与一个大腔室集成在一起，在整个晶圆上提供均匀蚀刻。这个大腔室容纳了等离子体源、电极和过程的特定蒸气来执行蚀刻过程。OXFORD Plasmalab 100与两种不同类型的等离子体源集成在一起，分别是RF Source和Magnetron等离子体源。射频源主要用于干蚀刻过程，而更先进的磁控管等离子体源是湿法蚀刻过程的理想来源。Plasmalab 100与高精度高级温度控制（ATC）系统集成在一起,使工具能够精确地将晶片加热到所需温度。这样可以确保高度精确的蚀刻过程,并且对晶圆表面质量的影响最小。它还可以为晶圆提供最大功率400W。OXFORD Plasmalab 100的高功率也使得蚀刻工艺更快。Plasmalab 100与先进的端点检测技术集成在一起，可提供准确的蚀刻过程实时视图。这项技术非常精确,但拥有成本却很低。OXFORD Plasmalab 100附带的软件包提供了广泛的流程支持功能。总体而言，Plasmalab 100为大多数先进材料提供了一种经济高效且高精度的蚀刻和灰化工具。该工艺的精确度和精确度可以与其他总成本低得多的高级蚀刻器/asher系统进行广泛比较。