二手 OXFORD Plasmalab 100 #9364612 待售

OXFORD Plasmalab 100
ID: 9364612
晶圆大小: 2"-6"
PECVD System, 2"-6".
OXFORD Plasmalab 100是专门为精密等离子体加工而设计的先进蚀刻器和asher。它提供了广泛的功能,使用户能够获得更精确的处理结果。蚀刻器由金属和塑料组合而成,包括一个能达到4500 °C温度的高功率样品支架。其嵌入式软件易于使用,为用户提供了对过程的温度、压力、功率和总蚀刻时间的完全控制。Asher的蚀刻面积为150 mm,高压工作范围为0-450 mtorr。它有一个冷却的Pyrex®腔室,用O形圈密封密封,而不是疏散。这提供了更高的处理精度和最大化的蚀刻速率。此外,蚀刻器包含一个带有法拉第笼子的高阻力屏蔽层,以抑制干扰和弧线,同时提供远距离保护。它还具有内置的空气过滤系统和低温抗氧化涂层,有助于减少加工污染物和颗粒堆积。Plasmalab 100提供快速的热加速,以显着减少循环时间。它具有高精度的z高度调整和颜色编码的进入/退出系统,允许用户快速选择正确的处理步骤。它还具有直观的数字控制系统和触摸面板,使用户能够准确跟踪蚀刻过程的每个步骤。OXFORD Plasmalab 100蚀刻器设计为最佳的安全性和强度与一个简单的腔室清理过程。其等离子体发生器经过严格测试,以最小的维护确保准确的结果,其先进的设计提供了市场上最高精度的等离子体处理。
还没有评论