二手 OXFORD Plasmalab 100 #9410020 待售

OXFORD Plasmalab 100是一种最先进的蚀刻器和asher系统，设计用于精密和表面蚀刻，以及用于精确的样品制备。它是先进的等离子体表面改性和纳米级加工的理想选择。该设备在较高的温度、较高的纵横比、较低的电阻率和较高的功率蚀刻过程中提供卓越的性能。Plasmalab 100由两个组件组成：等离子体处理器和腔室。等离子体处理器由电源、气体分配系统、蚀刻室和两个监控视口组成。该电源向蚀刻室输出高达55千瓦的功率,具有数字温度控制以及气体流量和压力的直接控制功能,可对过程进行精确调整和维护。腔室装有480mm x 480mm静电卡盘，带有可调偏置。卡盘的面也可以在需要时调整到不同角度。使用精密线性执行器可进行高精度高度和角度调整。气体分配系统由多达4个独立的阀门和4条不同的供气管线组成，它们提供了对腔内压力和成分的精确控制。阀门是自动化的，因此可以精确控制，以改变工艺条件。蚀刻室由不锈钢和钝化氧化硅构成，非常适合保持高清洁度和低附着力表面。腔室由温度控制，主要是内部结构，用于保护使用者免受辐射。它还配备了用于控制压力的压力控制阀。OXFORD Plasmalab 100专为高精度蚀刻和对各种材料进行表面改性而设计，特别适合于小零件的纳米制造，如微齿轮和纳米线，以及复杂的设备如纳米设备和MEMS。也可用于光刻蚀刻、RIE/ICP蚀刻以及其他形式的加工。该系统具有高度的灵活性和可配置性,具有多种气体类型、固定和自动化选项。容易设置、操作和维护。