二手 OXFORD Plasmalab 133 #293824962 待售

OXFORD Plasmalab 133是一种可靠、高效的蚀刻器/灰化器,可用于金属、半导体、化合物和杂种的热和物理蚀刻或灰化等过程。这种设备的批量最大为八个晶圆，可用于直径最大为200毫米的基材。Plasmalab 133的腔室设计具有良好的均匀性和工艺结果的可重复性，并具有气体大气控制系统，可确保晶圆加工的清洁和可重现。OXFORD Plasmalab 133具有1400 W射频发电机，提供0.1至25微米厚度的蚀刻能力。该装置配有质量流量控制器，可用于精确控制气体的应用，也可用于加工气体的外部再循环。真空和压力的控制是通过集成真空和压力控制机完成的，可以保持在1 mBar ±的精度内。蚀刻由工具软件控制，该软件具有内置和用户定义的配方，最多可存储50个用户定义的配方。Plasmalab 133还有一个集成的冷却器/气体预热器模块，用于调节蚀刻气体的温度并控制蚀刻室的入口气体温度。冷却器/加热器可以预先设置到任何所需温度，并且与各种各样的工艺气体兼容。该资产还具有可调基板支架，可容纳各种晶圆尺寸。基板支架的设计旨在确保晶片保持在最佳位置进行蚀刻。此外，OXFORD Plasmalab 133还采用了一个综合循环过滤模型，该模型便于循环和再循环工艺气体，并将工艺残留物排空。该设备还配备了射频等离子体监视器以及石英窗口，用于查看蚀刻过程。为了维护和清洁，系统配备了氧气清洗单元和卫生过滤器，以确保蚀刻室内的环境清洁。总之，Plasmalab 133是一种可靠、高效的蚀刻器/asher，可用于广泛的应用。该机使用方便，具有良好的工艺重复性和均匀性。此外，通过射频等离子体监测仪、射频发生器、压力和真空控制系统等综合安全系统确保其安全运行。