二手 OXFORD Plasmalab 133 #9256926 待售

OXFORD Plasmalab 133是一种蚀刻/灰化器，设计用于蚀刻和灰分表面，包括集成电路、磨损工具、黑色和有色材料以及贵金属的表面。它配备了先进的专利可编程数字控制设备和强大的高频发电机，允许从批到批精确一致的过程控制和可重复性。Plasmalab 133使用电偏置、蚀刻化学和反应性气体的组合，对待处理的表面进行蚀刻或灰烬处理。电偏置产生电场，使加工气体电离，形成等离子体。此等离子体结合蚀刻化学，然后用于在基板表面上创建和维护所需的轮廓。化学和气体可以改变，以适应具体的应用。OXFORD Plasmalab 133提供广泛的工艺参数，以达到不同的效果，并提供良好的工艺稳定性。它配备了独特的气体分配系统，优化了蚀刻均匀性和工艺加速度。该腔室设计为减少维护操作，并配有两个高性能真空泵。这允许用户根据应用程序快速更改真空级别,从而增强过程控制。Plasmalab 133带有直观的操作员设置屏幕和图形操作员界面，便于快速、轻松的单元和过程控制与监控。拥有最新的安全环保体系。它的设计是完全封装和尽量减少化学品接触，并提供一个安全的工作环境。OXFORD Plasmalab 133是一种可靠高效的蚀刻和灰化机，适用于广泛的应用。它具有出色的可重复性和广泛的工艺参数，是工业、实验室和教育应用的理想选择。