二手 OXFORD Plasmalab 133 #9404282 待售

OXFORD Plasmalab 133是一款高性能的等离子体粉碎机，设计用于各类基材的蚀刻、清洁和表面改性。它是一种多功能工具，是前沿研究、开发和生产应用的理想选择。该机器是一个方便用户的工具，易于设置和操作。Plasmalab 133具有紧凑的台式设计，由不锈钢构成，提供优异的性能和可靠性。它具有集成的压力控制器、可调温度计和PID数字显示屏,可以精确控制蚀刻过程。利用射频功率产生活性物质的高密度放电，可以调谐得到高达10 mTorr的腔室压力。利用其可调节的可重复功率输出，机器可以在各种材料和基板上蚀刻到1微米的精度。OXFORD Plasmalab 133能够以批量模式或连续蚀刻方式运行。它具有高达350°C的高温公差，可以蚀刻高达0.25微米的厚度。机器也可以在反应性离子蚀刻（RIE）模式下操作。RIE模式对于蚀刻复杂阵列（如3D-structuring非常有用。Plasmalab 133还带有两个气体进料,O2/CF4,用于精确控制蚀刻过程。为确保安全，OXFORD Plasmalab 133配有内置的安全互锁。该机还具有真空泄漏检测系统，在发生真空泄漏时将关闭电源。真空室设计为与标准冷冻泵配合使用，因此真空可以在整个蚀刻过程中可靠地保持。Plasmalab 133是任何需要精确等离子体蚀刻的应用的理想工具。它具有用户友好的设计、易用性和高性能,是研究和生产中各种任务的理想选择。