二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293607498 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种用于制备样品进行分析的蚀刻和灰化工具。它支持等离子体蚀刻和灰化过程，以便以高精度去除样品表面的材料层。它可以支持Si、GaAs、InP等不同材料的蚀刻和灰化工艺。该蚀刻器配备了专用的PlasmaEtch Source，旨在提供优化级别的自动补偿、负载匹配和其他性能增强功能，以确保始终如一的高生产率和工艺质量。利用其集成的晶片卡盘设计，等离子体蚀刻源可以有效地对准样品，快速转移蚀刻气体和纳秒脉冲等离子体功率。晶片卡盘设计还支持不同的样品尺寸,直径可达8英寸。蚀刻过程在低压高温等离子体室中进行，该室配有EMI过滤器，以保持蚀刻环境的清洁度。该室还配备了一个原位气体洗涤器，以使废气回收和循环利用能够最大程度地蚀刻产量。此外，该腔室还配备了一个自动化的原位传感器，用于精确和可重复的过程控制。蚀刻过程得到高级安全系统的补充，该系统禁止在满足所有安全参数之前启动该过程。Ashing process used a technologically advanced "Single Ash Source".它支持TMAH ashing和RCA-1 clean ashing。"单一灰源"提供额外的蚀刻温度控制以及灰分过程的稳定性。该系统还配备了一个集成气体洗涤器，用于在需要时回收和回收废气。Plasmalab 80 Plus还具有直观的软件界面,可提供有效的流程设置和控制。通过其图形用户界面，可以轻松创建、编辑和监控流程配方，并实时调整流程参数。该软件还允许方便的数据存储和导出,以便于共享和过程优化。总而言之，OXFORD Plasmalab 80 Plus是进行各种材料蚀刻和灰化工艺的理想工具。其先进的技术和全面的软件套件使其成为各种制造和研究相关应用中样品制备的理想选择。