二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293616592 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种专业的蚀刻和灰化设备，用于生产各种微电子元件。这种设备在生产过程中为用户提供了无与伦比的精确度和速度。Plasmalab 80 Plus利用最先进的等离子体生成室产生反应性离子；当这些离子与被蚀刻或灰化的材料接触时，基材与所需表面之间的伽马层会迅速而准确地溶解。这使得蚀刻和灰化工艺比传统方法更加高效、准确和精确。OXFORD Plasmalab 80 Plus包含一个25微米的等离子体源，其功率设置在0-1000瓦之间，最高温度为30°C。它可以达到每分钟最多一微米的蚀刻速率，取决于基材的条件，最小沥青侵蚀为2000纳米。机器还包括一个温度控制单元，它允许蚀刻或灰化过程的温度进行调整，以适应基材材料。这使用户能够准确控制生产过程的准确性和精确度。Plasmalab 80 Plus的工艺气体系统由各种气态元素组成，包括氧气（O2）、盐酸（HCl）、六氟化硫（SF6）、三氟化氮（NF3）等，可用于满足不同底物材料的特定工艺要求。设备还配备了真空装置，可以让基材快速放入蚀刻和灰化加工环境，而不会损坏材料。这提高了生产过程的安全性和准确性。总体而言，OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种高度精确和高效的蚀刻和灰化机，可产生准确、精确的结果，且废料最少。其深入的操作特点和全面的设计使其适合多种微电子制造工艺。