二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293637518 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先进的蚀刻加工设备，旨在满足各种先进半导体技术研发应用的需求。该系统将超高精度蚀刻结构与高效硬件和软件外围组件相结合，为用户提供了一个全面的工艺开发平台。Plasmalab 80 Plus由主机单元、工艺室和多个外围组件组成。主机由集成平台控制工具和优化调度逻辑组成，以及多个高级显示工具和特殊子系统。该工艺室包括真空室、等离子体源和淋浴头。真空室装有涡轮分子泵，使用户可以达到高达1 x 10-6 Torr的绝对压力。淋浴头是一个多参照的光学清洗石英顶部搬运工，使完整的过程可追溯。等离子体源是一种先进的基于电磁的直流源，有助于支持高长宽比特征蚀刻。此外，OXFORD Plasmalab 80 Plus还配备了多个外围部件，包括配方管理资产、样本管理模型、过程控制和数据采集设备、手动样品装载系统、气体和化学控制单元、样品对准机、抗蚀剂跟随者和成像工具以及CVD资产。配方管理模型促进了新流程的快速开发和优化,允许高效的管理、监控和控制（超过半导体器件的生产、测试和测量）,并便于实时过程监控和产品收集。样品管理设备允许在蚀刻过程中自动收集和清洗晶片和样品，并协助收集蚀刻后的清洁晶片。Plasmalab 80 Plus是一个精密的蚀刻器/asher系统,能够提供优化的蚀刻过程和与外围设备相关的精密控制系统,为研究人员和开发人员提供一个全面的多功能平台来满足蚀刻和处理需求。