二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293660207 待售
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OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款高性能、自动化的Plasma Etcher和Asher。它在复杂结构上具有优异的等离子体蚀刻性能，具有高质量和可重现的效果。Plasmalab 80 Plus为速度和精度配备了大功率ECR源和机动化舞台，使其适用于广泛的材料。Oxfod OXFORD Plasmalab 80 Plus强大的电动舞台可实现高达100毫米/秒的扫描速度，步长小至1 µm。先进的控制设备可确保晶片上的蚀刻速率具有极好的重复性和均匀性。Plasmalab 80 Plus还具有低压闭环系统，可有效蚀刻微观结构。低压装置的精确操作能够对较小的特征进行精确蚀刻，并最大限度地减少颗粒沉积。OXFORD Plasmalab 80 Plus还配备了高效冷却机，在蚀刻过程中将晶片上的热应力降至最低。此工具有助于提高设备的使用寿命和更高的蚀刻性能。Plasmalab 80 Plus还配备了自动化气体输送资产，设计用于输送多种气流，精确地为各种晶圆材料量身定制蚀刻工艺。该模型有助于优化蚀刻工艺，最大限度地减少材料损失，减少生产时间。OXFORD Plasmalab 80 Plus还配备了软件控制设备，可方便编程和控制蚀刻过程。板载系统允许改进系统控制、提高精度和加快蚀刻速度。Plasmalab 80 Plus是一款先进、可靠、易用的等离子体蚀刻装置。它在各种材料上具有优异的蚀刻性能，具有高精度和重复性。它是小型和大型生产运行和低成本每部分蚀刻的理想机器。
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