二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293665218 待售
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ID: 293665218
Reactive Ion Etcher (RIE) / Inductive Coupled Plasma (ICP) Etcher
Cl2
SF6
SiCl3
CHF3
O2/Ar
Chiller.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种蚀刻/灰化设备，为各种基材和材料的蚀刻或灰化提供可靠、可重复和坚固的解决方桉。Plasmalab 80 Plus采用了一系列精密蚀刻工艺，包括反应性离子蚀刻（RIE）、感应耦合等离子体（ICP）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）蚀刻。可以通过多种方式对该过程进行编程,以确保获得最佳的蚀刻结果。OXFORD Plasmalab 80 Plus设计用于在真空室中执行各种过程。它能够在从环境温度到250°C的各种温度范围内对材料进行蚀刻和灰化。在0瓦到1000瓦的高精度电源下，系统可以用直流电源应用程序和各种波形编程，用于一系列具有不同化学性质的蚀刻工艺。Plasmalab 80 Plus配备了一个自动的样品转移单元和样品阶段，以便于运输晶圆。它还具有软件功能，允许用户控制蚀刻过程，并在整个蚀刻周期内保持均匀性。此外，还对危险材料和化学品作出了特别规定，提供了一个安全的环境。该机器具有许多安全功能,可以完全保护用户。它包括多个联锁、压力监测、氧气和水传感器以及紧急关闭。此外，该工具旨在在整个过程中尽量减少对腔室和部件的污染。OXFORD Plasmalab 80 Plus是研究应用和其他需要高度精确配置蚀刻或灰化操作的应用的完美解决方桉。其尖端技术结合了可重复性和均匀性，使其成为那些寻求可靠蚀刻和灰化工艺的人的理想选择。
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