二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293668719 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款最先进的Asher/Etcher，设计用于制造晶圆级封装、印刷电路板制造、MEMS制造等高科技应用的亚半微米细金属图桉。该设备使用两种不同的技术----反应性离子蚀刻（RIE）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）----同时进行蚀刻、沉积、蚀刻和沉积。RIE技术可以高精度蚀刻，而PECVD用于沉积厚度精确的薄膜。Plasmalab 80 Plus配备了双离子源，允许对多种材料进行超精确蚀刻。该蚀刻器还配备了高科技电动级和温度适应真空，确保精确、可重复的蚀刻和沉积结果。OXFORD Plasmalab 80 Plus为不同的蚀刻和沉积任务提供多种工艺配方，并配有气体溷合系统，以及用于控制和监测蚀刻和沉积过程的集成软硬件。Plasmalab 80 Plus有一个精密的控制单元，最多可以处理200毫米的晶圆大小。蚀刻器操作简单,可以快速设置和更改流程和配方。最后，OXFORD Plasmalab 80 Plus是需要能够承担复杂和高级项目的蚀刻/沉积机的实验室的理想选择。