二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293670958 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一个顶级的线蚀刻/asher设备。它主要用于半导体工业，用于薄膜的制造、沉积和蚀刻。该系统旨在利用低功耗、经济高效的工艺实现卓越的蚀刻分辨率和高质量的薄膜。Plasmalab 80 Plus配备了全局电源、电子压力控制器、电子枪以及要求底压5x10-7 Torr （35 mBar）的高真空单元。具有精确气体调节功能的集成气体面板可实现精确的过程控制。蚀刻室的设计和构造提供了优越的工艺均匀性，以及较大晶片的大腔室体积。此外，OXFORD Plasmalab 80 Plus还有一个集成的背面冷却阶段，旨在保证膜的生产均匀。除了为最佳亚微米蚀刻和等离子体清洁分辨率而设计之外，Plasmalab 80 Plus还配备了多种功能和组件，以确保最大性能水平。先进的成像光学机器可以实时监控蚀刻过程,而自动对焦自动立体扫描头工具则可以维护基本成像参数。资产还配备了多模式功能，允许最多四个蚀刻过程在一个腔室同时编程和操作。OXFORD Plasmalab 80 Plus还配备了质量膜检测视频模型,该模型提供数百张检测图像,用于实时监控过程性能。最后,集成的、用户友好的图形用户界面（GUI）为编程和监视流程提供了准确、直观的方法。Plasmalab 80 Plus是一款备受追捧的蚀刻/asher设备,它以较低的拥有成本提供卓越的蚀刻分辨率和高质量的薄膜。该系统具有坚固的电源、集成的气体面板和多模式功能,非常好地满足了半导体行业的要求。集成的背面冷却级和成像光学单元可以实现最佳的均匀性和更高效的生产。最后,OXFORD Plasmalab 80 Plus 蚀刻器/asher由用户友好的GUI和胶片检查视频机作为后盾,以确保最高级别的性能和满意度。