二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293764146 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款用于材料研究、半导体制造和芯片生产的asher和蚀刻器。其先进的设计和构造使其能够产生极其精确、极其精确的蚀刻和粉碎结果。Plasmalab 80 Plus采用最优质的不锈钢制成，不仅确保了最耐用、最可靠的性能，而且还保证了出色的防溢漏和防溢性能。此蚀刻器/asher装有先进的电子控件，并具有数字显示器与之交互。采用单级高真空机械泵送系统，具有独立的安全测试系统，具有较高的温度稳定性。其他功能包括可调节的腔室压力范围和内置的高性能射频发电机,工作范围很广（最高可达350W）。OXFORD Plasmalab 80 Plus配备了最先进的气体搅拌机和加热器系统，可根据工作的精确要求将其设置为特定的比例和流量。它还能够进行精密的多层蚀刻和灰化，可重复蚀刻速率为0.1 um/min。灵活的过程控制允许进行优化,以实现精确、高质量的结果,并具有最小的周期时间和最大的吞吐量。由于其先进的设计，Plasmalab 80 Plus非常容易操作。其用户友好的界面设计直观、直观，允许快速、轻松的设置和调整。所有流程都是高度自动化的,并具有若干高级安全功能,从而确保了优化、安全和高效的流程。OXFORD Plasmalab 80 Plus除了具有出色的蚀刻和灰化能力外，还非常适合晶圆清洗和去键。其先进的设计和构造使其特别适合晶圆厂级半导体生产。此蚀刻器/asher具有非常低的维护时间和较高的可靠性。Plasmalab 80 Plus是用优质材料制成的，这意味着它的高性能肯定会持续多年，而且维护或维修最少。