二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293766036 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先进的蚀刻器/asher设备,可为各种样品提供大量的精密蚀刻、灰化和降解功能。蚀刻和灰化功能由其集成的脉冲电源驱动,该电源可提供高达800V的脉冲,从而使系统能够执行一系列退火和蚀刻技术。此外，Plasmalab 80 Plus还配备了一个可编程的自动样品传输单元和一个机器人晶圆处理臂，用于高效的样品处理。OXFORD Plasmalab 80 Plus具有多功能的工艺室,可提供批处理和单晶圆处理功能。该工艺室最多可容纳6个晶片用于批量加工，还具有内置的质量流控制器和可调节聚焦气体界面，可调节工艺气体和其他气态材料流入腔室，从而实现可重复和可重复的加工结果。此外，氮气净化机保持加工室清洁和无杂质，确保过程的完整性。除了先进的蚀刻和退火功能外，Plasmalab 80 Plus还提供先进的降序工艺。先进的降序过程利用射频功率、反应性离子蚀刻（RIE）和湿蚀刻的组合来创建干净的蚀刻表面。该工艺具有较高的蚀刻精度和均匀的金属层蚀刻效果.OXFORD Plasmalab 80 Plus能够执行各种蚀刻配方,这些配方可以针对特定应用程序的特定蚀刻需求进行定制。直观的用户界面允许简单的配方编程和数据记录蚀刻周期结果，以便于参考。最后,Plasmalab 80 Plus的高级安全功能使其成为安全的蚀刻工具,可用于实验室或工业环境。该资产具有多种安全功能,如高级警报、主动电涌保护、接地屏蔽和过压保护,有助于保护人员和模型免受蚀刻过程中的潜在危害。最后,OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种先进的蚀刻器/灰化器设备,它为各种样品提供了大量的精密蚀刻、灰化和降解能力。该系统具有先进的安全特性，能够在实验室和工业环境中进行可靠的蚀刻。Plasmalab 80 Plus具有通用的工艺室和直观的用户界面,可提供可重复和可重复的蚀刻结果,并可容纳针对特定应用定制的各种蚀刻配方。