二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293769424 待售
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ID: 293769424
晶圆大小: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8"
Electrode: 240 mm
Gases: Ar, CF4, O2, CHF3, SF6, He
Gas flow: 100 SCCM
Process pressure: 30–100m Torr
Pumping system: Turbo molecular pump with rotary pump
RF Generator with power supply: 300 W, 13.56 MHz.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种精密蚀刻器/asher,常用于实验室和工业环境。这种设备以其精确度和可靠性而闻名,因为它具有很高的性价比,并且采用高质量的组件来构建,使其能够完全精确地执行任务。Plasmalab 80 Plus由一个装有主板、电源和射频发生器的盒子、一个冷却设备、等离子体室和三个温度探头、一个惰性气体输送系统、压力控制阀、图表、显示器和控制器以及真空泵组成。这种设备能够与广泛的基材和材料一起工作,如不锈钢、铝合金,甚至复合材料,使其适合许多应用。OXFORD Plasmalab 80 Plus也以能耗低着称,使其成为设施能效的绝佳选择。此蚀刻器/asher设计为高度用户友好,具有用于快速设置和操作的直观界面。该设备还能够远程操作,允许用户从计算机控制。Plasmalab 80 Plus蚀刻器/粉碎器的工作原理是在腔室内部发射电流,以产生一种根据需要蚀刻或粉刷基板的等离子体气氛。这一单元进一步配备了压力控制阀,以确保气体不断流过腔室,以维持等离子体。此外,冷却机可防止刀具过热,并确保最佳性能。这款蚀刻器/asher由于具有高精度能力和可调等离子体参数,非常适合广泛的基材和材料。这允许用户自定义资产以符合其特定要求。而且,OXFORD Plasmalab 80 Plus还包括多种安全机制,在不损害用户安全的前提下进一步确保准确可靠的结果。总体而言,Plasmalab 80 Plus是用于各种蚀刻和灰化操作的绝佳设备。它是为最大的安全性、效率和准确性而设计的,让使用者每次都能取得精确的结果。凭借其直观的界面和远程操作能力,这款蚀刻器/asher是实验室、工业环境等的完美选择。
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