二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9135432 待售

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ID: 9135432
PECVD System 208 V, 50 Hz Electrical phase: 3+neutral & earth.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先进的蚀刻器和asher,提供可靠、准确的各种材料干蚀刻和灰化。设备设计紧凑,即使在资源有限的实验室或研究设施中也能舒适安装。Plasmalab 80 Plus是一种单室蚀刻/灰分仪器,能够用其工艺室处理不同类型的基板。外观采用不锈钢制成,使设备既耐用又美观。该仪器配置有PLC控制面板,可完全控制加工过程中的关键参数,如总腔室压力、离子能量、气流和射频功率。其机载诊断系统旨在便于维护和故障排除。凭借其先进的用户界面,操作员可以轻松访问蚀刻/灰分处理的设定点,可以根据应用程序的具体要求进行调整。OXFORD Plasmalab 80 Plus能够运行各种不同的过程,如Asher、反应性离子蚀刻(RIE)和离子束蚀刻(IBE)。它还配有各种配件,用于对半导体材料进行干蚀刻,同时根据经过的时间或基于反应的标准管理工艺。此外,该仪器还设计有两通道输送装置,便于装载不同的材料。Plasmalab 80 Plus经过优化,可用于各种惰性和反应性气体。其先进的供气设计可借助其10个气体阀、供气压力/温度调节器和数字读数实现对气体压力和温度的精确控制。这也使得用户在需要时更容易在不同气体之间切换。OXFORD Plasmalab 80 Plus还能够同时进行蚀刻/灰分处理,使其高效可靠,无论加工的材料类型如何。该机配备了显示Etch-time等不同参数的数字显示屏,数字显示屏可轻松编程设定点,用于精确、可重复的蚀刻和灰化实验。总体而言,Plasmalab 80 Plus是一款可靠、精确的蚀刻和灰化设备,在设计时考虑到了方便和精确的控制。凭借其先进的PLC控制面板、车载诊断系统、精确的供气、双通道输送和精确的数字读数,用户在蚀刻和灰化不同的基材和材料时可以确信其出色的效果。
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