二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9229826 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9229826
晶圆大小: 8"
ICP System, 8".
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先进的干蚀刻设备,设计用于在一系列材料中实现高度精确和积极的蚀刻。该系统利用感应耦合等离子体(ICP)源产生高能和局部离子,将细腻或错综复杂的结构蚀刻成许多材料如二氧化硅、聚酰亚胺、铝和金的底物。该单元具有卓越的蚀刻速率、选择性和过程可重复性,是广泛应用领域的理想选择。该机具有简单易用的用户界面,并具有高功率80MHz射频发生器。它还包括一个用于监测功率波形的数字化示波器,为用户提供蚀刻过程的直观表示,使其易于分析和调整蚀刻参数以获得最佳结果。Plasmalab 80 Plus利用精密的自动化控制,并提供强大而精确控制的蚀刻技术,使用户能够根据所加工基材的类型和厚度获得优异的蚀刻产量和均匀性。此工具与高分辨率视觉资产集成在一起,以便精确调整蚀刻掩模在基板上方的位置。视觉模型可检测嵌套几何形状,从而实现更高的产量和更好的可重复性。此外,该设备还配备了真空室、真空隔离阀和一套集成制造工具,以及一系列有助于扩大其应用范围的配件。它还有一个三件套的石英双向视口和卤素灯,允许用户在蚀刻时检查样品,以便观察蚀刻过程对材料的影响。在安全性方面,OXFORD Plasmalab 80 Plus有一个全自动安全系统,包括联锁、气体关闭阀、运动探测器和软件安全单元。这确保了机器的安全运行,为用户提供了Plasmalab 80 Plus是安全可靠的工具的安心。总而言之,OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先进、精确且高度可靠的干蚀刻机,旨在满足任何应用的需求。它是航空航天和医疗技术等广泛行业中关键应用的理想选择,因为它具有高精度和可重复性,以及广泛的自动化安全功能。
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