二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9273094 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款高精度的蚀刻器/asher机器,具有多种功能和优点。它对于从微电子到工业元件的一系列表面精加工应用特别有用。Plasmalab 80 Plus有一个全封闭的不锈钢腔室，并提供一系列替代工艺气氛，包括N2、Ar、O2、N2/O2和Ar/O2。这种过程气氛的组合有助于确保蚀刻或灰化过程产生可重复的结果，并准确控制蚀刻速率、轮廓和精加工。OXFORD Plasmalab 80 Plus还提供了一系列工艺参数，以进一步控制工艺条件。这包括无电沉积、反应性离子蚀刻、底物蚀刻等过程。它还提供了一个独立可调的工艺行进高度，控制晶圆和电极之间变化的间隙距离。内置的特定气体喷射系统有助于在工件的整个表面提供均匀的气体分布。这样可确保工艺性能一致,并产生统一的蚀刻速率和轮廓。此外，Plasmalab 80 Plus拥有先进的两级真空泵送系统，在实现精确压力控制的同时，也避免了对腔室进行手动排气的需要。机器由直观的触摸屏用户界面控制，它提供了一系列可编程的过程参数和设置，使操作变得容易，具有高度的可重复性和可重复性。最后，该机具有内置的安全管理技术以帮助防止机器的异常运行，以及可选的自动条码阅读器系统以实现产品的可追踪性。总体而言,OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款高性能的蚀刻器/asher机器,为一系列应用程序提供了一系列功能和优势。它能够对工艺参数进行精确控制，产生准确可靠的结果，是工业零部件制造的绝佳选择。