二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9277860 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款高性能蚀刻器/asher，设计用于湿法或干法中各种样品的蚀刻和灰化。该设备采用了蚀刻和灰化工艺的优化技术，包括最新的等离子体生成技术，能够对各种材料和应用进行聚焦和控制。Plasmalab 80 Plus拥有120 W射频发电机电源，能够在13.56 MHz的最大频率下产生5-500 W的功率范围。发电机有一个集成的控制系统，能够控制电流、电压、温度和其他与蚀刻/灰化过程有关的参数。发电机还包括一个智能控制单元，它能够根据特定过程的需求自适应过程参数。OXFORD Plasmalab 80 Plus有一个四袋样品支架，一次最多可容纳四个样品，可以节省时间，提高吞吐量。最大样品尺寸为直径4英寸，高度1.5英寸，蚀刻面积直径最大为10英寸。该机器还能够执行背面蚀刻和灰化过程，允许多次通过蚀刻和灰烬。Plasmalab 80 Plus有一个集成的安全工具，旨在保护用户免受潜在危害。该资产具有射频互锁、真空互锁和紧急停止按钮，以确保安全运行。该模型还具有内部安全电路,用于监控蚀刻/灰化参数,并在发生过压、低温或高温或其他不安全情况时关闭设备。OXFORD Plasmalab 80 Plus还包括多个软件控件，允许用户根据自己的特定需求定制系统。该单元的控制软件利用图形用户界面，便于导航和使用。该界面允许用户输入参数和选择进程，同时提供对蚀刻/ashing进程的详细监视和控制。该机还可以储存食谱和程序供日后使用，方便重现经过测试和验证的过程。除了这些功能，Plasmalab 80 Plus还包括控制真空和气体流动的软件，以及监测等离子体放电的软件。所有这些特性结合其高性能和精确度，使得OXFORD Plasmalab 80 Plus成为蚀刻和灰化应用的理想选择。