二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9292317 待售
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OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种先进的蚀刻器/asher,非常适合研究样品表面、薄膜沉积和纳米加工。其独特的特点使其成为广泛应用的理想选择,从蚀刻和灰化表面处理到纳米加工。Plasmalab 80 Plus带有两个工艺室,提供广泛的功能。第一室用于蚀刻和灰化应用,第二室设计用于通过反应性溅射和EB-PVD工艺进行薄膜沉积。两个会议厅都配备了自动化的流程控制,以提高准确性和可重复性,为用户提供最大的流程灵活性。OXFORD Plasmalab 80 Plus效率很高,可为用户提供几乎零容忍的蚀刻和灰化功能。机器的高级电源系统确保了一个一致的、可重复的过程,即使在高功率的水平.此外,Plasmalab 80 Plus还提供低至1微米的工艺控制精度。OXFORD Plasmalab 80 Plus还具有许多先进的安全功能,例如高压电源隔离系统以及受保护的互锁系统。这样可以确保用户在使用机器时保持安全,并确保最高级别的操作安全。Plasmalab 80 Plus具有直观、用户友好的界面,易于操作并减少学习曲线。它还为用户提供了保存流程参数和配方的能力,使用户可以轻松回忆以前创建的流程。此外,OXFORD Plasmalab 80 Plus兼容直流和射频电源,允许广泛的等离子体过程控制可能性。机器还支持多种气体,允许一系列复杂的表面处理。简而言之,Plasmalab 80 Plus是一款功能强大、灵活的机器,非常适合广泛的蚀刻和灰化应用,从样品表面处理到纳米加工。其用户友好的界面和先进的安全功能使其成为研究和学术环境的理想选择,为用户提供了一套可靠、安全的蚀刻和灰化过程工具。
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