二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9352269 待售
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ID: 9352269
PECVD System
With THERMO NESLAB RTE-7 Chiller
MKS MFC's Flow rates range: 50 SCCM to 1 SLM
Deposition material: SiN/SiO2 and SiON
ALCATEL Pump
LAFERT Trolley
HONEYWELL Q Mate Power supply
HONEYWELL UDC3300 Power supply
Power: 90-250 VAC, 50/60 Hz, 18 VA
Gas / Flow rate
CF4+O2 / 200 SCCM
N2 / 1 SLM
SiH4 (2%) / N2 / 500 SCCM
NH3 / 50 SCCM
N2O / 1 SLM.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先进的全功能蚀刻器/asher。它旨在在蚀刻和粉刷各种材料时提供准确、可重复的结果。它具有直观、用户友好的界面和高级软件,可让您完全控制电源、温度和工艺时间等参数。80 Plus有多种腔室配置,以适应不同的工艺和材料。Plasmalab 80 Plus具有坚固可靠的蚀刻和灰化设备。它能够处理多种材料,包括黄铜、铜、铝、不锈钢和多氯联苯。80 Plus采用两种独立的真空系统-一种用于蚀刻/灰室,另一种用于真空系统。这样可确保最大程度的过程准确性和可重复性。真空单元包括无油涡轮分子泵、机械背衬泵和VAR(真空辅助再泵送)站,以保持稳定的真空水平。该腔室加压时使用的是氙气,压力范围从10 mbar到500 mbar。OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种极精确的蚀刻和灰化机。它的工作温度在270°C到350°C之间,而可调节的压力和真空水平使您能够精确控制蚀刻和灰化过程。它的可变功率激光器实际上允许您控制蚀刻深度以及沉积速率,以实现无与伦比的精度。除了先进的蚀刻和灰化功能外,Plasmalab 80 Plus还为您提供了完善的诊断功能。工具的原位软件监控过程的各个方面,包括腔室压力、温度和真空,以及辅助资产状态。这样,您就可以在问题成为问题之前识别和解决问题。OXFORD Plasmalab 80 Plus具有业界领先的特点和精确度,是快速可靠地蚀刻和粉刷各种材料的绝佳选择。其先进的软件、强大的电机模型、用户友好的界面以及多用途的腔室配置使其成为可靠、高性能的机器。
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