二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9383858 待售

ID: 9383858
Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD Systems, parts system.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先进的蚀刻器/asher设备,能够用多种材料生产高度精确的零部件。该设备能够以惊人的精度和可重复性生产零件。Plasmalab 80 Plus使用内置的等离子体源以高达5 cm2/min的速度提供精确的蚀刻和灰化操作。该系统具有坚固、高精度的运动平台,即使在最小的尺度上也能确保元件的精确操作。与等离子体源一起,该单元利用嵌入式集成软件套件实现对过程的精确控制。OXFORD Plasmalab 80 Plus采用不锈钢风冷室,压力为180-300 mTorr。这样可以确保机器能够操作并保持一致的过程压力和温度。该工具利用3轴运动控制资产来确保最佳零件跟踪,并具有精确调整蚀刻速率和持续时间的能力。其他值得注意的特点包括一组集成的基于喷嘴的蚀刻和灰化喷嘴以及用于浸入式部件蚀刻的针头汽化模块。Plasmalab 80 Plus还提供多种工艺选项,包括反应性离子蚀刻、离子束蚀刻和离子铣削。它还全面概述了蚀刻和灰化操作中使用的材料选项。该模型包括几个安全功能,以确保操作员受到任何危险条件的保护。这些功能包括一个不断监测系统的计算机诊断设备、一个联锁装置,以进一步降低用户受伤的风险,以及一台紧急机器,在紧急情况下立即关闭工具。除了其先进的功能外,OXFORD Plasmalab 80 Plus的设计更方便维护。它拥有全自动维护资产,使模型能够预先编程,以便在指定的时间间隔内进行维护,确保设备始终处于最佳运行状态。总体而言,Plasmalab 80 Plus是一个先进的蚀刻/asher系统,能够生产精确的零部件。它内置了许多先进的功能和安全系统,使其成为任何蚀刻或灰化操作的绝佳选择。
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