二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9384679 待售
网址复制成功！
单击可缩放
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款最先进的蚀刻器/asher,它提供了对关键蚀刻和灰化参数的出色控制。其先进的设计确保了精确的蚀刻和灰化控制，以最大限度地提高工艺均匀性和装置产量。该单元配备了精确可控的圆形磁控管天线，以确保可重复的过程参数。此外,它还具有多范围电源,对过程参数提供非常瞬态的响应,以便在需要时进行快速调整。Plasmalab 80 Plus具有先进的真空室设计，最大限度地提高了腐蚀防护，以及多种晶圆传输机制，提供高效一致的蚀刻和灰化工艺。它还配备了几个过程监测和控制系统，包括气流监测仪、压力调节器和气体纯度分析仪，以确保一致、可靠的结果。OXFORD Plasmalab 80 Plus提供高级用户界面,简化操作并最大程度地减少操作员错误。该控制设备实时提供过程参数反馈，还可以进行高效的数据记录和分析。对于更复杂的蚀刻,Plasmalab 80 Plus有几个选项可供选择。一个过程气体溷合系统提供了多种气体的高效溷合和自动气体校准模块最小化过程漂移随着时间的推移。机载氧气监测器有助于确保惰性气体工艺用于关键应用。OXFORD Plasmalab 80 Plus是一个用途广泛、功能强大的单元,能够为各种蚀刻和灰化应用提供出色的工艺一致性和产量。其先进的控制系统和用户界面简化操作，同时实时提供流程参数反馈。对于更复杂的蚀刻应用，一个过程气体溷合机和自动气体校准模块确保可靠的结果，减少过程漂移随着时间的推移。
还没有评论