二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9398272 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9398272
Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款适合研究和教育用途的高性能集成蚀刻器/asher设备。它能够精确演示各种材料的样品加工,包括硅和聚合物。完整的系统包括基座单元、向下看的光学元件、向上看的光学元件和气体处理单元。底座单元是一个精密工程密封室嵌入框架内,配有电线和控制机器。该腔室由不锈钢、阳极氧化铝和增强的丙烯酸材料构成,并以专利密封盖设计控制温度氦气回填。基础单元提供的预溷合生产工艺保证了稳定的性能,并产生了一致的结果。向下看的光学器件在基板表面提供均匀的照明,其数字光柱确保了高分辨率成像工具。向下看的光学器件有一个可以延伸到22.6毫米(1英寸)的视野。工作距离范围可变(3.3-11.3毫米)。光学资产的设计是为了优化样品表面的照明,并确保最佳性能。上图光学器件覆盖0.1-400Å的范围,可用于监测蚀刻和图桉。它提供了一个高分辨率的成像模型,放大倍数可达1400X,并配备了最先进的成像和模式识别设备。Plasmalab 80 Plus的气体处理系统由一个主控制单元和五个独立的质量流控制器和过程阀组成,用于控制气体(氧气和氙气)的输送。气体供应装置是为批量和连续过程设计的,可以使用全方位的过程控制软件进行监测和控制。此外,控制器还能够进行基材和材料的监测、沉积计量和图样设计。OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种先进的工具,用于对各种材料进行精确的加工和制图,非常适合教育和研究用途。机器的卓越性能和工程设计使其成为可靠、精确的蚀刻和灰化工艺的首选。
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