二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9412407 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9412407
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是由OXFORD Instruments设计开发的创新蚀刻/灰机。它被设计成一种高性能、符合人体工程学和经济高效的工具,用于半导体、纳米技术和微加工行业的各种应用。Plasmalab 80 Plus具有强大的蚀刻/灰分射频(RF)发生器,可确保可靠和可重复的结果。该发电机产生可调节的脉冲直流或射频功率,用于高精度蚀刻/灰分操作。这款大功率发电机使OXFORD Plasmalab 80 Plus能够处理广泛的材料,包括非金属、塑料、软金属和其他金属。其可变工作台一次最多可容纳四个基板,以进行更高效的加工。Plasmalab 80 Plus还配备了冷却剂设备,使室内温度保持在较低水平,蚀刻/灰室表面保持凉爽。这种冷却剂系统减少了蒸发,增加了过程的重复性。此外,OXFORD Plasmalab 80 Plus还通过高度安全的联锁、ESD安全连接和RF-cage(保护用户和操作员)提供了安全至上的方法。Plasmalab 80 Plus随Bertech的AutoEtch Unit一起提供,它允许通过触摸按钮远程选择最多五种基板。这消除了操作员手动选择和更改基板的需要。此外,内置配方和机器参数存储库还提供了更高的过程重复性。OXFORD Plasmalab 80 Plus在微电子学和微机械化技术上有着广泛的应用。在纳米技术和电子设备的开发中可用于RIE蚀刻/灰分。也适用于湿蚀刻和干蚀刻/灰化工艺。此外,Plasmalab 80 Plus可用于等离子体辅助沉积、金属和有机变体以及其他表面处理工艺。因此,OXFORD Plasmalab 80 Plus是一种先进的蚀刻/灰分机,非常适合各种微电子和纳米技术的需要。它具有可靠和可重复的结果、广泛的材料和易于使用的功能,使其成为有经验和新用户的绝佳选择。
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