二手 PLASMATHERM 790 #293636673 待售
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ID: 293636673
晶圆大小: 6"
优质的: 1993
Reactive Ion Etcher (RIE), 6", parts system
PFEIFFER / BALZERS TPH240 Turbo vacuum pump with TCP 380
MKS 153 Control valve
AM-5 Auto matching network
(4) Mass Flow Controllers (MFC)
(2) Floppy disks
AMN-PS2A RF Controller
RFPP RF-5S RF Power supply (500W, 13.56 MHz)
Power supply: 500 W, 13.56 MHz, 208 VAC, 60 Hz
1993 vintage.
PLASMATHERM 790是一款高性能蚀刻器或asher，专为清洁、高效、经济划算的印刷电路板生产而设计。由于其先进的技术特点,该设备具有极高的精确度和可靠性。它是一个高度可靠、坚固和易于维护的等离子体灰烬系统，非常适合精细的特征过程控制，具有可重复的结果。该单元由绝缘不锈钢反应室、高频源、气流机和自动化多刀具等离子体源组成。对反应室进行加热，确保对加热反应气体进行适当的热管理。该室配有先进的真空工具，能够实时监测工艺压力和温度。高频源产生高达40,000瓦的功率，用于蚀刻物体表面和材料。这种动力也被用来加热反应室，创造真空环境。一些等离子体调谐多工具源可用于资产提供一系列的等离子体参数，以提高蚀刻均匀性。专用的气体喷嘴模型能够精确调整蚀刻工艺参数，如功率、流量、速度和压力。喷嘴能够在整个表面积上形成均匀、高质量的蚀刻。反作用室的设计使控制喷嘴的位置和调整工艺参数成为可能，使设备可以用于各种蚀刻应用，如印刷电路板。790具有多种安全特性，包括自动关闭系统，防止在温度和压力过大的情况下进一步使用该单元。它还具有"紧急停止"按钮,该按钮可以停止机器并防止任何进一步的工作,以保护操作员的安全。该工具还具有广泛的软件和控制选项，如智能用户界面，使用户能够配置自己的蚀刻过程。该资产与一系列计算机辅助设计（CAD）软件包兼容,从而可以高效集成到现有生产线中。总之，PLASMATHERM 790是一种先进、可靠、紧凑的蚀刻模型，具有很高的可重复性和灵活性。它是印刷电路板经济高效、高精度生产的理想选择。
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