二手 PLASMATHERM 790 #293729354 待售
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ID: 293729354
晶圆大小: 2"-6"
优质的: 1993
Reactive Ion Etcher (RIE), 2"-6"
Single chamber
Material used: Gas and Silicon
MFC: N2/SiH4/HE, HE, NH3
Pump
HX75 Chiller
RF
No loadlock
Throttle valve
Ion gauge controller: Manometer
Gas panel
Fluid input panel
Temperature control system
Operating system
1993 vintage.
PLASMATHERM 790是一种蚀刻器/asher，设计用于材料的精确和可重复处理。它配备了自动化的过程控制平台，提供易于使用、精确和可重复的过程。该系统设计用于处理各种类型的样品，如聚合物、金属或金属-聚合物复合材料。它能够达到高达800°C的极高温度，提供精确、可重复的蚀刻和灰化解决方桉。该工具包括一个功能强大的低维护真空泵。泵可确保腔室中的恒定和精确压力,从而确保精确的过程,并且无需频繁维护。这个平台的创新是随着时间的推移为用户提供精确的结果，减少了频繁节流或调整压力的需要。790的车身设计坚固可靠，为连续例行运行而设计。它配备了可靠的安全系统，防止对使用者和设备造成任何伤害或损坏。它可以交替使用几个甚至不止一个高频电源,对整个蚀刻和灰化过程进行精确的电源控制。它还通过其自动化的过程控制平台提供了广泛的控制,从而方便地访问高级功能。通过此平台,用户可以在手动或自动蚀刻和灰化过程之间进行选择。可以通过PC软件对不同的工艺配置文件进行编程,该软件还控制蚀刻和灰化过程的各个方面。而且，用户可以管理室内的温度和压力，气体的流动以及向材料输送的确切能量量。总体而言,PLASMATHERM 790为用户提供了精确、可重复性和可靠的操作。它是先进材料加工的理想工具，适合研究和工业使用。它还提供了一个自动化的过程控制平台,使用户能够以最小的努力轻松地对过程进行编程,并可以完全控制蚀刻和灰化过程。
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