二手 PLASMATHERM 790 #293764460 待售

PLASMATHERM 790
ID: 293764460
优质的: 1997
Reactive Ion Etcher (RIE) 1997 vintage.
PLASMATHERM 790是一款asher/etcher,为各种应用提供先进的等离子体蚀刻功能。它旨在提高生产效率和性能,并为最具挑战性的蚀刻需求提供最佳、经济高效的解决方桉。该系统具有高达200 kW的蚀刻功率,总占地面积仅为11平方米。其模块化配置允许高灵活性和量身定制的生产过程。790包括两个集成源,即室温等离子体(RTP)或远程等离子体源(RPS)。对于直径可达300毫米的晶片/堆栈,其负载锁腔室可提供高达50%的吞吐量。它提供了精确的自动标线,并允许对每个气体进行独立的控制,使得复杂的蚀刻过程更容易执行。PLASMATHERM 790适用于许多敏感材料,包括光学涂层、复合材料、聚合物和金属箔。通过综合真空和气体安全协议,它能够以安全的方式处理潜在危险化学品。它有一个高容量的数字控制系统,提供更快的过程开发和直接配方与现代软件。此外,它还包括PWM电源切换、排气压力调节和自动预防性维护等多种保护功能。790是一种可靠且经济实惠的蚀刻/蚀刻工艺解决方桉。它非常适合印刷电路板制造、离散元件制造、集成电路制造、半导体封装、光伏电池制造等多种应用。它兼具性能和灵活性,使其成为一个功能强大的设备,可帮助在任何生产环境中最大限度地提高生产效率。
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